循环过滤系统：
由储液槽、喷淋泵、过滤器、管路等构成。
设置三级过滤：清洗腔室下方回流口处设有粗网，当清洗液由腔体回流至储液槽时进行粗过滤；储液槽上方设有接渣篮，篮内铺有过滤网，清洗液经过粗网过滤后，通过回流管路流至储液槽上方接渣篮，将大颗粒铝屑进行下一步过滤，此为一级过滤，滤网精度50目；清洗液经过滤网过滤后，进入储液槽，朝阳喷淋清洗机，因储液槽为双腔室结构，中间有高低隔板，上可防止浮油扩散（此时除油机处理浮油），下可防止固体颗粒进一步扩散，可使沉渣进一步沉淀，此为二级过滤；清洗液通过隔板间隙流入另一腔室，经过管路到达不锈钢过滤器，过滤器进行---过滤（50μm），此为三级过滤；
旋转喷淋清洗机过程中注意事项：
1、升温至清洗温度才能将清洗剂放入清洗槽；
2、将清洗剂均匀完全融化后才能投入清洗槽；
3、只有等清洗机能正常工作，通过式喷淋清洗机定制，方可放入需清洗的零部件。
4、清洗前的人工预处理：将清洗件的表面浮泥及重油---行人工清除，盲孔、浮浊物---区要加以细致处理。
5、按照从大到小的顺序，将脏面紧贴下部摆放，注意：零部件切勿重叠。
6、每次清洗20分钟后，取出零部件，检查一下，若有表面浮浊物应人工处理下来，倒换方向继续清洗，循环往复。
7、超声清洗后再用高压水冲洗，把清洗件上残留的污物近一步清除，达到清洗效果。
旋转自喷清洗是渗入型清洗的变形。系统软件中一般包含全自动配液系统软件、清洗内腔、废水回收利用系统软件。自喷清洗在一个密闭的工作中腔内一次进行有机化学清洗、双蒸水清洗、旋转脱水等全过程，降低了在每一步清洗全过程中因为人工操控要素引起的危害。在自喷清洗中因为旋转和喷淋系统的实际效果，促使硅片表面的溶液更为匀称，与此同时，触碰到硅片表面的溶液始终是的，那样就可以---根据加工工艺时间设置，---硅片的清洗浸蚀实际效果，完成有效的一致性。密封性的工作中腔能够阻隔有机化学液的蒸发，降低溶液的消耗及其溶液蒸汽对身体和条件的伤害。各体系各自贮于不一样的化学---，在运用时抵达喷口以前才混和，使其维持新鮮，通过式喷淋清洗机价格，以充分发挥发展潜力，那样在清洗的时候会反映快。用n2喷时使药液根据较小的喷口，使其产生细细的的雾气，至硅片表面做到更快的清洗目地。
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