利用真空突沸效应，提---燥速度。由于碳氢清洗剂的沸点都在140℃以上，工业清洗机，在常温常压下挥发一般需要一小时左右。这样的干燥速度肯定不能满足工艺清洗的节拍要求。而用加热烘干的方法又容易产生火险，这也是碳氢清洗剂在未得到广泛应用的主要原因之一。真空蒸馏，使碳氢清洗剂再生重复使用。清洗剂的蒸馏再生，超声波清洗机，就是利用清洗剂与污垢之间的沸点差，将溶有油污的清洗剂加热到清洗剂不沸点以上而控制在油污的沸点以下，多槽超声波清洗机，便清洗剂气化，然后通过冷凝装置使之重新凝结成纯净的清洗剂，而沸点较高的油污和机械杂质则留在蒸馏罐的底部。卤代烃清洗剂由于沸点低且不可燃，蒸馏再生相对容易，所以，许多卤代烃清洗剂都附带有蒸镏再生装置。而碳氢清洗剂由于沸点高而闪点较低，在常压下蒸镏再生是不可能的。
碳氢化合物清洗机有利用超声波融合氮氧化合物对商品开展清洗的机器设备。其原理是利用超声波的“空化功效”来清洗零件。说白了“空化功效”是由超声波产生器传出高频率震荡信号，再根据超声波换能器转化成高频率机械设备震荡而散播到清洗液中，使液---流动性而造成的很多气泡，而这种气泡会遮盖在清洗物品的表面上，层层包围着，终在做到一定的标准气压水平后，清洗机，气泡便会---，使物品表面上的污垢被慢慢掉下来。简易而言，原理便是利用超声波渗透性强的机械设备震驱动力冲击性产品工件表面并融合碳氢化合物清洗剂的有机化学除污功效，在真空泵情况下开展各个方位清洗，使产品工件表面和埋孔、间隙整洁。
全自动真空碳氢清洗机过程由plc自动控制，设备生产主线由2个真空脱气超声波清洗，1个强力真空超声波洗， 2个蒸汽洗+真空干燥组成，其工作原理是利用超声波渗透力强的机械震动力冲击工件表面并结合碳氢清洗剂的化学去污作用，在真空状态下进行清洗，使工件表面和盲孔、狭缝干净。
由操作者将装有工件的清洗篮放在进料台上，然后自动送至清洗机进料位，经机械手将清洗篮依次推入清洗机内进行清洗、真空干燥，后经出料台自动将清洗篮送出，（取出工件），完成整个清洗到烘干的过程。
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