利用真空突沸效应，提---燥速度。由于碳氢清洗剂的沸点都在140℃以上，在常温常压下挥发一般需要一小时左右。这样的干燥速度肯定不能满足工艺清洗的节拍要求。而用加热烘干的方法又容易产生火险，这也是碳氢清洗剂在未得到广泛应用的主要原因之一。真空蒸馏，超声波清洗机价格，使碳氢清洗剂再生重复使用。清洗剂的蒸馏再生，就是利用清洗剂与污垢之间的沸点差，将溶有油污的清洗剂加热到清洗剂不沸点以上而控制在油污的沸点以下，便清洗剂气化，然后通过冷凝装置使之重新凝结成纯净的清洗剂，而沸点较高的油污和机械杂质则留在蒸馏罐的底部。卤代烃清洗剂由于沸点低且不可燃，蒸馏再生相对容易，汽车零部件清洗机，所以，许多卤代烃清洗剂都附带有蒸镏再生装置。而碳氢清洗剂由于沸点高而闪点较低，在常压下蒸镏再生是不可能的。
排除工件表面和孔隙中的空气，提高清洗效果。在传统的清洗中，清洗效果不理想常常是因为盲孔、粗糙表面和细小缝隙中的空气不能排出，影响清洗剂的浸润，产生清洗盲孔。应用真空技术后，可使部件表面、缝隙和盲孔内的空气全部排出，使清洗剂完全浸入工件的每个部位，
沸点，清洗机，命名碳氢清洗剂也可以实现气相清洗。使用卤代烃清洗剂的超声波清洗机，利用卤代烃清洗剂沸点低的特点，在清洗的后一步，将清洗剂加热使之产生纯净的清洗剂蒸汽，用溶液蒸汽对工件进行蒸气清洗，使溶解在清洗溶液中的油污不会残留在工件表面。真空清洗干燥机利用液体在真空状态下沸点降低的原理，通过对密封的清洗槽抽真空，使碳氢溶剂的沸点---降低。
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