碳氢清洗机-清洗机-巴克超声波

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旋转喷淋清洗机简介

旋转喷淋清洗机

汽车旋转喷淋洗机电控系统:

plc控制系统,人机界面;交流接触器、中间继电器等重要器件选用“正泰/施耐德”品牌。其他选取国内品牌;清洗时间可根据产品要求随意设定。






此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。

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清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。







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