此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越---,对实际制造的几个环节也提出了新要求,散热片喷淋清洗机定制,清洗环节的重要性日益---。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
公司于2008年通过了iso9001管理体系和欧盟ce---,先后与国外80多个合作,并与航发、大众、华为、小松机械、伊顿、沃德、长城、重汽、美利信、费斯托、中车、中航工业等企业达成长期战略合作关系。
旋转喷淋清洗机简介
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1.设备具有清洗漂洗液体实时循环过滤系统,过滤系统设有压力监控功能,---提高了液体利用效率和滤芯更换提示;
2.设备能耗低,秦皇岛散热片喷淋清洗机,运行噪音小,无污染,环境---;
3.所有的气压都需要电子报控表,当气压不达标时会自动停机报警;
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1.加清洗篮旋转功能,360度无死角对产品进行清洗;
2.根据不同产品颗粒度要求,调整工艺参数,过滤系统;
3.设备有效解决了汽车零部件、液压阀等零件颗粒度问题;
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