此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,汽车零部件清洗机,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越---,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益---。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
一、 主要参数(一道清洗+一道风切):
1、清洗节拍:180s以上;
2、清洗压力:0.4mpa以上;
3、装机功率约:15kw;
4、占地尺寸约: 1200 l *1500w*1500h(mm);
二、 单工位旋转喷淋清洗机主要优势:
1、占地面积小,节约场地;
2、兼容性高,可兼容多种产品(无清洁度要求或清洁度要求较低);
3、三级循环过滤,有效延长清洗液的使用时间;
4、储液槽外贴保温棉,节约能源;
济南巴克超声波科技有限公司是一家从事工业清洗设备的研发、制造、销售为一体的---企业,总部位于济南市临港开发区,标准化厂房面积13000余平方米。设备具有具有结构新颖、功能齐全、---性强、操作维修方便的特点,已完全取代进口设备。
旋转喷淋清洗机简介
旋转喷淋清洗机
1.清洗机是固定式的,清洗机,自动化程度较高,工业清洗机,清洗后轴承的洁净度达到铁路总公司的标准。
2.采用可编程序控制器,轴承上料、输送、清洗、吹干、下料、自动进行
公司秉承“销售网络化,汽车发动机清洗机,服务本地化”的营销理念,已在范围内设立了青岛、上海、成都、沈阳、大连、长春、西安、天津、武汉、郑州、厦门、广州等多处服务中心;并成立:“2小时内回复,24小时内派人到现场”的服务机制。
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