此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越---,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益---。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,改性醇清洗机,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
济南巴克超声波科技有限公司是一家从事工业清洗设备的研发、制造、销售为一体的---企业,总部位于济南市临港开发区,标准化厂房面积13000余平方米。员工人数:150余人,拥有工程---20余人,新设备研发人员:10余人,售后人员:10余人。年产值4000多万元。
旋转喷淋清洗机简介
旋转喷淋清洗机
1.期清理储油箱被污染的清洗液。
2.如长期不使用,则应定期让清洗机运转一次,每次至少在10min以上。
3.清洗机用完后用罩子盖起来,做好防尘和防潮工。
密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发,碳氢清洗机,减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂,在使用时到达喷口之前才混合,清洗机,使其保持新鲜,以发挥潜力,这样在清洗时会反应快。用n2喷时使液体通过很小的喷口,零件清洗机,使其形成很细的雾状,至硅片表面达到---的清洗目的。
旋转喷淋装置的安装不仅使厂区的环境得到了较好的---,吸附空气中的灰尘颗粒和杂质,降低扬尘,炎热高温季节,可为室外作业人员带来一丝凉意,该项技术后期将推广至唐承区域各站点施行,为共创型企业做贡献。
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