密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持新鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用n2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到---的清洗目的。
旋转喷淋装置的安装不仅使厂区的环境得到了较好的---，吸附空气中的灰尘颗粒和杂质，工业清洗机 ，降低扬尘，超声波清洗机，炎热高温季节，可为室外作业人员带来一丝凉意，该项技术后期将推广至唐承区域各站点施行，为共创型企业做贡献。
问2
我们正在对我们的器械清洗机进行日常测试。在性能测试之前，清洗机，是否需要对每台机器进行物理检查？如果需要，检查中应包括哪些内容？
答：为将清洗消毒机等处理设备的效率性能大化，对设备及其部件进行常规检查是非常重要的。记住，清洗架也是处理设备的一部分，使用前需要小心维护和检查。
任一层喷淋臂或输水性能差异都会阻碍清洗机的功能和清洗效果。因此清洗机每一层的性能都有可能不同。仅测试一层不能对清洗机的整体性能进行充分或真实评估。
此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越---，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益---。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。
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