旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。
喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程,减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果,使得硅片表面的溶液均匀,同时,接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的,这样就可以做到通过工艺时间设置,控制硅片的清洗腐蚀效果,实现---的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发,减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂,清洗机,在使用时到达喷口之前才混合,使其保持新鲜,以发挥潜力,这样在清洗时会反应快。用n2喷时使液体通过很小的喷口,使其形成很细的雾状,至硅片表面达到---的清洗目的。
循环过滤系统:
由储液槽、喷淋泵、过滤器、管路等构成。
设置三级过滤:清洗腔室下方回流口处设有粗网,当清洗液由腔体回流至储液槽时进行粗过滤;储液槽上方设有接渣篮,超声波清洗机,篮内铺有过滤网,清洗液经过粗网过滤后,通过回流管路流至储液槽上方接渣篮,将大颗粒铝屑进行下一步过滤,此为一级过滤,汽车零部件清洗机,滤网精度50目;清洗液经过滤网过滤后,进入储液槽,因储液槽为双腔室结构,中间有高低隔板,上可防止浮油扩散(此时除油机处理浮油),下可防止固体颗粒进一步扩散,可使沉渣进一步沉淀,此为二级过滤;清洗液通过隔板间隙流入另一腔室,经过管路到达不锈钢过滤器,过滤器进行---过滤(50μm),多槽超声波清洗机,此为三级过滤;
济南巴克超声波科技有限公司是一家从事工业清洗设备的研发、制造、销售为一体的---企业,总部位于济南市临港开发区,标准化厂房面积13000余平方米。设备具有具有结构新颖、功能齐全、---性强、操作维修方便的特点,已完全取代进口设备。
旋转喷淋清洗机简介
旋转喷淋清洗机
1.清洗机是固定式的,自动化程度较高,清洗后轴承的洁净度达到铁路总公司的标准。
2.采用可编程序控制器,轴承上料、输送、清洗、吹干、下料、自动进行
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