旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。
喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程,减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果,使得硅片表面的溶液均匀,同时,接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的,这样就可以做到通过工艺时间设置,控制硅片的清洗腐蚀效果,实现---的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发,减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂,在使用时到达喷口之前才混合,使其保持新鲜,以发挥潜力,超声波清洗机厂家,这样在清洗时会反应快。用n2喷时使液体通过很小的喷口,使其形成很细的雾状,至硅片表面达到---的清洗目的。
该清洗机主要由输送装置、清洗腔体、储液箱(除油过滤系统)、喷淋系统、自动温控加热系统、风切吹水系统、排风装置、控制系统、机架、自动下料等组成。具体结构见附图和以下的说明。设备的配电设施是独立的电控柜。
1. 清洗成本低:可使用普通水或酒精加少许溶剂作为清洗剂,省去一定人工成本;
2. 性:采用换能器清洗效果好,超声波功率---,;
3. 批量连续性:超声波清洗设备可长时间连续工作,汽车零部件清洗机,适应批量生产;
4. 节能:整个清洗工序为自动超声模式,清洗机,杂志均沉淀于于清洗液体中,无粉尘污染无噪音;
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旋转喷淋清洗机简介
旋转喷淋清洗机
巴克定制旋转喷淋清洗机,自带旋转篮筐,篮筐承重力大,可同时对不同工件进行喷淋清洗、喷淋漂洗等;旋转喷淋清洗机的优势在于旋转篮筐可自由转动,从而喷淋嘴可360度对工件进行喷淋清洗,槽体内部设计合理,工业清洗机,清洗下来的污物,可随清洗溶液一起排出槽体内部,---槽体内部的洁净度。
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