此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越---,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益---。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,高压旋转喷淋清洗机,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
公司于2008年通过了iso9001管理体系和欧盟ce---,先后与国外80多个合作,并与航发、大众、华为、小松机械、伊顿、沃德、长城、重汽、美利信、费斯托、中车、中航工业等企业达成长期战略合作关系。
旋转喷淋清洗机简介
旋转喷淋清洗机
汽车零部件旋转喷淋洗机
清洗流程:上料***喷淋清洗***风刀切水***下料
清洗工件:精密零部件、清洗
使用电源:三相五线制380v/50hz 总功率:12kw(可定制)
外形尺寸:1200*1200*1500(长*宽*高)mm 不含控制箱(可定制)
内槽材质:槽为不锈钢sus304工业板材质,往复式旋转喷淋清洗机,厚度2.0㎜。
公司于2008年通过了iso9001管理体系和欧盟ce---。目前在国内先后成立了济南、成都、沈阳、上海四家分公司,并在青岛、北京、大连、长春、哈尔滨、西安、郑州、南京、武汉、重庆、武汉等地设有办事处和服务中心。公司部分产品远销欧洲、澳洲、南北美洲、非洲等海外市场,15%出口。
旋转喷淋清洗机简介
旋转喷淋清洗机
1. 设备内外均采用不锈钢制作(设备内结构采用进口sus304不锈钢,单片旋转喷淋清洗机,外封采用sus不锈钢。)
2. 设备配件采用进口---元器件或国内品牌,延边旋转喷淋清洗机,喷淋泵是采用南方泵,plc采用西门子,---设备运转稳定,使用---达十年以上。
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