高压喷淋旋转清洗机-长春旋转喷淋清洗机-单工位

旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。

喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程，减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果，使得硅片表面的溶液均匀，同时，接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的，这样就可以做到通过工艺时间设置，控制硅片的清洗腐蚀效果，实现---的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持新鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用n2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到---的清洗目的。

密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，工位旋转喷淋清洗机，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持新鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用n2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到---的清洗目的。

旋转喷淋装置的安装不仅使厂区的环境得到了较好的---，吸附空气中的灰尘颗粒和杂质，降低扬尘，炎热高温季节，高压喷淋旋转清洗机，可为室外作业人员带来一丝凉意，该项技术后期将推广至唐承区域各站点施行，为共创型企业做贡献。